Industrie des semi-conducteurs
Dans l’industrie des semi-conducteurs, les composants électroniques sont fabriqués à partir de plaquettes de silicium. Les propriétés des semi-conducteurs sont modifiées par un dopage ciblé. Des hydrures tels que AsH3, B2H6 ou PH3 sont utilisés à cette fin. Les acides tels que HCl ou HF sont utilisés dans les processus de gravure et de nettoyage. En raison de leur toxicité élevée, ils doivent faire l’objet d’une surveillance stricte afin de garantir la sécurité des personnes et des équipements.
Vos avantages avec les capteurs Membrapor
 | Excellentes performances Capteurs les plus sensibles du marché pour la surveillance des niveaux de ppb |
 | Faibles coûts d’exploitation Des temps de réponse inférieurs de 50 % en moyenne réduisent la nécessité d’utiliser des gaz d’étalonnage coûteux. |
 | Contrôle optimisé des processus La réduction de la consommation de gaz dans les processus de gravure et de nettoyage permet d’optimiser les coûts d’exploitation |
Sélection de produits
La sélection de produits ci-dessous reflète la recommandation d’utilisation dans l’industrie des semi-conducteurs.
Sensors
Compact
Modules
Compact
| AsH3 | HF | HCN | HCl | PH3 | SiH4 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAL | CAL | CAL | CAL | CAL | CAL |
| AsH3/C-1-CAL | HF/Cl-10-CAL | HCN/C-50-CAL | HCl/C-20-CAL | PH3/C-5-CAL | SiH4/C-50-CAL |
| AFE | AFE | AFE | AFE | AFE | AFE |
| AsH3/C-1-AFE | HF/Cl-10-AFE | HCN/C-50-AFE | HCl/C-20-AFE | PH3/C-5-AFE | SiH4/C-50-AFE |
Miniature
| AsH3 | HF | HCN | HCl | PH3 | SiH4 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAL | CAL | CAL | CAL | CAL | CAL |
| AsH3/M-1-CAL | – | HCN/M-50-CAL | HCl/M-20-CAL | PH3/M-5-CAL | SiH4/M-50-CAL |