Halbleiterindustrie
In der Halbleiterindustrie werden elektronische Bauteile auf der Basis von Siliziumwafern hergestellt. Die Eigenschaften der Halbleiter werden durch gezielte Dotierung verändert. Dazu werden Hydride wie AsH3, B2H6 oder PH3 verwendet. Säuren wie HCl oder HF werden in Ätz- und Reinigungsprozessen eingesetzt. Aufgrund ihrer hohen Toxizität müssen sie streng überwacht werden, um die Sicherheit von Personen und Geräten zu gewährleisten.
Ihre Vorteile mit Membrapor Sensoren
 | Hervorragende Leistung Die empfindlichsten Sensoren auf dem Markt für die Überwachung von ppb-Werten |
 | Niedrige Betriebskosten Durchschnittlich 50 % niedrigere Ansprechzeiten reduzieren den Bedarf an teurem Kalibriergas |
 | Optimierte Prozesssteuerung Verbesserter Gasverbrauch bei Ätz- und Reinigungsprozessen optimiert die Betriebskosten |
Produktauswahl
Die nachstehende Produktauswahl spiegelt die Empfehlung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie wider.
Sensoren
Compact
Modules
Compact
| AsH3 | HF | HCN | HCl | PH3 | SiH4 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAL | CAL | CAL | CAL | CAL | CAL |
| AsH3/C-1-CAL | HF/Cl-10-CAL | HCN/C-50-CAL | HCl/C-20-CAL | PH3/C-5-CAL | SiH4/C-50-CAL |
| AFE | AFE | AFE | AFE | AFE | AFE |
| AsH3/C-1-AFE | HF/Cl-10-AFE | HCN/C-50-AFE | HCl/C-20-AFE | PH3/C-5-AFE | SiH4/C-50-AFE |
Miniature
| AsH3 | HF | HCN | HCl | PH3 | SiH4 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAL | CAL | CAL | CAL | CAL | CAL |
| AsH3/M-1-CAL | – | HCN/M-50-CAL | HCl/M-20-CAL | PH3/M-5-CAL | SiH4/M-50-CAL |