NOUVEAU : Capteur d’arsine

Highly sensitive Arsine Sensor

Avec l’AsH3/C-1 et l’AsH3/M-1, MEMBRAPOR présente deux capteurs extrêmement sensibles, qui permettent de mesurer l’arsine, un gaz hautement toxique, dans la plage des ppb.

Malgré son passé en tant que composant d’armes chimiques, l’arsine est aujourd’hui un produit technique courant dans l’industrie des semi-conducteurs. L’arsine est utilisée comme gaz dopant à grande échelle et en quantités significatives dans le contexte du dopage thermique du silicium dans le processus de diffusion et dans l’implantation ionique. Pour garantir la sécurité, tous les processus doivent être contrôlés et surveillés à l’aide de capteurs électrochimiques d’arsine.