A sensor to measure arsine gas in the ppb range.[/caption]
Mit dem AsH3/C-1 und dem AsH3/M-1 präsentiert MEMBRAPOR zwei äusserst hoch empfindliche Sensoren, welche es erlauben das hoch gefährliche Gas Arsin im ppb-Bereich zu messen.
Abgesehen von seiner Vergangenheit als Bestandteil in chemischen Waffen, ist Arsin heute ein verbreitetes technisches Produkt in der Halbleiterindustrie. Arsin wird als Dotiergas im grossen Umfang und in signifikanten Mengen im Rahmen der thermischen Dotierung von Silizium im Diffusionsprozess und bei der Ionenimplantation eingesetzt. Um die Sicherheit zu gewährleisten, müssen alle Prozesse mit elektrochemischen Arsin-Sensoren gesteuert und überwacht werden.